簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "方劭云".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="光學神經網路"


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    基於光學卷積運算之對準誤差量測
    • 自動化及控制研究所 /109/ 碩士
    • 研究生: 李金陽 指導教授: 郭鴻飛
    • 積體電路的飛速發展有賴於其中的關鍵製程微影技術不斷提高的工藝水平,而對準誤差(Overlay)作爲微影製程的重要指標因素,成爲需要不斷精進的控制對象,同時也需要做到愈發追求極緻的精準量測。目前,基於…
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    • 全文公開日期 2024/09/09 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/09 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/09 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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